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爱游戏ayx登录入口,爱游戏(中国) 产品方案 晶圆检测 12吋晶圆传送盒检查机

12吋晶圆传送盒检查机

FOUP AOI
• 高分辨率量测 + 检测外观检查机
• 尺寸量测支持SEMI Standard
• 弹性量测与检测项目设定
• 具备充气阀量测、流量量测、扭力量测功能
• 具备E84功能，可实现全自动化上下料检测
  • Foup AOI
Foup AOI
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