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12吋晶圓傳送盒檢查機
FOUP AOI
• 高解析度量測 + 檢測外觀檢查機
• 尺寸量測支持SEMI Standard
• 彈性量測與檢測項目設定
• 具備充氣閥量測、流量量測、扭力量測功能
• 具備E84功能，可實現全自動化上下料檢測
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